[반도체 관련주]이솔, EUV PR 평가 장비 성능 테스트 성공적!

에프에스티 자회사 이솔, 최근 EUV PR 평가 장비 성능 테스트를 성공적으로 마쳤다고 한다.

EUV 시장은 아직 시작도 안 한 단계라고 생각하는데 그런 의미에서 아주 고무적인 소식이다.

한 가지 아주 큰 아쉬운 점이 있다면... 지분 확보 좀 해 주라 쫌....

 

 

"이솔, EUV PR 평가 장비 성능 테스트 성공적... 업계 호평", 2021.06.25 서울경제, 강해령 기자

* 뉴스 원문 요약

- 이솔의 EUV PR 평가 장미 에밀레가 성공적인 성능 테스트 결과를 확보했다

- 대당 1,500억 원이 넘는 ASML의 EUV 노광 장비 없이도 EUV PR 개발을 수월하게 할 수 있을 것으로 보인다.

- 기존 EUV 노광 장비에 있는 11개 반사 미러를 걷어내고, 웨이퍼와 EUV 빛 사이에 금속 부품 하나만 남김

- EUV 빛이 촘촘한 구멍이 뚫린 금속 부품을 통과해 갈라지면, 서로가 간섭을 하며 웨이퍼에 회로를 형성

- 이때 빛은 웨이퍼에 패턴을 형성하면서 EUV 빛과 반응하는 PR 성능을 파악

- 해당 장비의 패턴은 16 나노

- 3 나노 공정에 활용할 PR을 에밀레로도 개발할 수 있을 것

- EUV 빛으로 패턴을 찍어내는 장비를 만든 회사는 ASML 이후 세계 최초

- 이 장비가 국내 EUV 생태계에 큰 기여를 할 것

- EUV PR 내재화와 맞물리는 장비 

 

* 뉴스 원문 : https://n.news.naver.com/article/011/0003928206

이솔, EUV PR 평가 장비 성능 테스트 성공적···"업계 호평"