EUV Pellicle
특별히 새로운 내용은 없지만 점점 EUV 시장이 개화됨에 따라 펠리클, PR, 마스크 등 EUV 관련 소재, 부품, 장비 업계가 집중받고 있다. "삼성, TSMC, 인텔, 이번엔 반도체 펠리클 대전", 2021. 07.11 서울경제, 강해령 기자 * 뉴스 원문 요약 - EUV 공정에서 펠리클 소재가 주목받고 있다. - TSMC는 EUV 공정에 이 소재를 적용해 생산 효율성과 수율을 크게 올린 것으로 파악된다. - 삼성전자도 펠리클 도입을 준비, 사용화까지는 시간이 필요, 국내 소재 업체와 인프라 공유로 도입을 앞당겨야 한다는 진단 펠리클 - EUV 마스크 덮개 - EUV 마스크 오염을 방지 - EUV는 펠리클을 2번 통과하므로 높은 투과도 필요 - 열, 깨짐에 대한 내구성도 필요 - DUV 대비 다른 구..
2021. 7. 17.
