[반도체 관련주]에프에스티, EUV 기술 개발 현황

EUV 관련 유의미한 매출 발생 2021년 4Q ~ 2022년 초 예상.

21 장비 부문 매출 1,000억 원~1,200억 원 예상.

 

 

첫 번째, 에프에스티 EUV 기술 전망

① EUV Pellicle Mounter and Demounter(EPMD) → 2021 4Q 또는 2022년 상반기 매출 발생 전망

② EUV Pellicle → 21년 상반기 개발 완료 계획이었으나 현재 개발 진행 중

③ EUV Pod 검사장비 → 개발 진행 중

④ EUV Pellicle 검사장비 : EPIS → 21년 상반기 출시 계획이었으나 현재 개발 진행 중

- 광학 검사장비로 추측

(해당 장비는 E beam 활용 검사 장비인지 광학 검사 장비인지 확실치 않음)

 

 

두 번째, 이솔 EUV 기술 전망

① EUV MASK : SREM(Scanning Reflection EUV Microscope) → 개발 완료, 납품 고객사와 테스트 작업 중

- EUV MASK 불량 유무를 가려내는 장비

- EUV 광원을 활용한 검사장비(LSM)

- EUV MASK 검사 장비는 KLA, 칼자이스, 레이저텍 세 곳이 선점한 상태

- EUV MASK 검사 장비는 연 생산량 10대 미만

- 독일의 칼자이스 제품의 경우 1,000억 원

- 이솔의 SREM은 1/3 가격 전망

 

② EUV Resist : EMILE(EUV Resis test patterning) → 2021.06.24 성능 테스트 성공

- EUV Photo Resist(PR) 성능 평가 장비

- 기존에는 EUV 성능 평가를 위해서는 ASML의 EUV 노광기가 필수였음

- ASML의 EUV 노광기는 대당 1,500억 원 정도

- EMILE는 EUV 노광기 없이 해당 장비를 통해 EUV PR 성능 평가할 수 있음

- 6월 24일, 성능 평가 테스트 성공적