EUV 생태계 조성은 현재 진행

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"ASML도 온다"... 한국, EUV 생태계 조성 '잰걸음', 2021.08.06 디지털데일리, 김도현 기자

* 뉴스 원문 요약

- 반도체 분야에서 극자외선, EUV 기술이 화두

- 국내에서는 삼성전자와 SK하이닉스를 중심으로 EUV 생태계가 꾸려지는 분위기

- 2021년 8월 6일, 업계에 따르면 ASML은 경기 화성에 EUV 클러스터 구축을 위한 부지를 확보 중.

- ASML은 2025년까지 우리나라에 트레이닝 제재조 센터가 집적된 EUV클러스터를 조성

 

EUV PR

- 현재, JSR-신에츠화학-TOK 등 일본 업체가 독점

- 동진쎄미켐-영창 케미컬-SK머티리얼즈-삼성 SDI 등은 내재화를 개발 착수 중, 다만 시간은 좀 더 필요

- 일본 TOK와 미국 듀폰이 EUV PR국내 생산을 결정

 

EUV 마스크

- 에스엔에스텍, EUV 블랭크마스크 준비 중, 내년 양산을 목표

- 현재, EUV포토마스크와 블랭크마스크 역시 일본 기업이 주도(호야-울코트-아사히글라스)

 

EUV 펠리클- 에프에스티가 개발 중- 에프에스티 : EPMD , EUV 펠리클 검사장비, EUV POD 검사장비 제작에도 성공한 것으로 전해진다- ESOL : EUV PR 테스트 장비를 개발 완료- 디바이스이엔지 : 반도체 웨이퍼를 담는 풉(FOUP) 세정장비를 EUV 전용으로 공급 중

 

 

* 뉴스 원문 : https://n.news.naver.com/article/138/0002108221

"ASML도 온다"…韓, EUV 생태계 조성 '잰걸음'