[EUV관련주]에프에스티, 2021 IR 자료

FST IR자료가 업로드되었음.
EUV 관련 기술만 간단히 정리.

① EUV Pellicle

- 차세대 막질 개발 및 Full size 공정 개발 중
- 복합 소재의 차세대 High power 펠리클 가능성 검증

② EUV Source

- 고차 조화파 EUV 광원(Laser를 이용하여 EUV 파장의 광을 형성)
- EUV 검사, 계측 설비 광원으로 활용
* HHG source의 power 향상 및 LPP(Laser-produced Plasma) Source 연구개발 중

③ EPMD(EUV Pellicle Mounter Demounter)

- Fully Automated EUV Pellicle Mounting&Demounting

④ EPIS(EUV Pellicle Pelliclized EUV Mask Inspection)

- Automatic defect review
- Automatic defect classification on pellicle mebrane(front side, back side, hole)
- EUV Pellicle quality control : Inspection defectivity & mechanical strength
- Pellicle status monitoring
- Mask ecterior inspection : backside, edge, etc...

⑤ DUV Pellicle&Mask Inspetion System

- DUV Pellicle의 Membrane, Frame, DUV Mask의 이물을 optical 방식으로 검사하는 장비
(EUV는 아니지만 유의미한 사업, 개발 부문인 듯)

IR 굳, 하지만 자회사에 대한 설명도 좀 더 있었으면 하는 아쉬움.

* 자료 원문 :

에프에스티 (IR자료)2021년(v1).pdf

1.76MB